臺 TSMC, ASML 차세대 노광장비 특별가 도입

삼성전자와 인텔의 라이벌
도입 시기도 1분기 이상 빨라
할인가 공급은 주문 수량과 관련

대중국 수출에 제한을 받고 있는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 기업인 대만의 TSMC(타이지뎬臺積電)에 최신 반도체 장비 가격을 인하해 공급할 예정인 것으로 알려지고 있다. 도입 시기도 1분기 이상 빠르다는 것이 양안(兩岸·중국과 대만)의 경제 정보에 밝은 베이징 소식통들의 전언이다.

대만 신주에 소재한 TSMC의 공장 내부 모습. ASML의 차세대 노광장비를 특별가로 도입할 것으로 알려지고 있다./

이 소식통들은 또 ASML이 TSMC가 곧 도입할 예정인 첨단 극자외선(EUV) 노광장비인 '하이(High) 뉴메리컬애퍼처(NA) EUV'에 특별 할인가를 적용할 예정인 것으로 보인다고 전망했다. TSMC가 이달 말 이전 북부 신주(新竹) 공장에 설치 예정인 '하이 NA EUV'의 공급 가격이 정상가격인 3억5000만 유로(5156억 원)보다 훨씬 낮다고도 전했다.

이와 관련, 또 다른 베이징의 한 소식통은 이번 ASML의 첨단 EUV 노광장비 공급이 TSMC의 '시험 사용'에 목적이 있다고 설명했다. 이어 이번 공급가 할인이 TSMC의 A16(1.6나노 공정)을 이용한 제품의 고객사 주문 수량과 관계가 있다고 분석했다.

그는 그러면서 TSMC가 차세대 EUV 장비를 특별 할인가에 공급받게 되면서 지난 4월 미국 오리건주 연구개발(R&D) 센터에 차세대 EUV 장비를 설치했다고 밝힌 인텔에 사실상 완벽한 '승리'를 거뒀다고 풀이했다.

ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 독점 생산하는 기업으로 전 세계적으로 유명하다. 또 반도체 전(前) 공정의 하나인 노광 공정은 웨이퍼에 미세하고 복잡한 전자 회로를 인쇄하는 과정으로 보면 된다. '하이 NA EUV'는 반도체 회로를 더 세밀하게 그릴 수 있는 ASML 차세대 장비로 AI 응용프로그램과 첨단 소비재 전자제품용 칩 제조에 쓰이는 것으로 알려지고 있다. 해당 장비 중량은 무려 150t으로 에어버스 A320 여객기 2대와 같은 무게인 것으로 알려졌다.

네덜란드는 2019년부터 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 중국 수출을 금지한 바 있다. 또 지난해 9월부터는 신형 DUV 장비에 속하는 NXT 2000i 이상급 모델에 대해서도 정부 수출 허가를 받도록 제한도 가했다.